Изображение сгенерировано нейросетью
Первая российская литографическая установка для изготовления чипов по технологии 350 нм должна быть передана заказчику в конце 2026 года. Первое устройство будет отправлено компании «Маппер», входящей в холдинг «Швабе», а второй экземпляр получит фирма «Отраслевые решения» из группы компаний «Элемент».
Разработчиками литографа являются Зеленоградский нанотехнологический центр, также известный как ЗНТЦ, и белорусская компания «Планар». Продукция, изготовленная с соблюдением технологий 350 нм, применяется как в производстве силовой, так и автомобильной электроники, а также в создании компонентов для разнообразного промышленного оборудования.
Установка предназначена для работы с пластинами диаметром до 200 мм. По производительности отечественный литограф может обрабатывать 63 пластины размером 150 мм или 43 пластины размером 200 мм в час.
Цена базовой конфигурации составляет 392 млн рублей без учета НДС. Модель с расширенным обслуживанием и пятилетней гарантией будет стоить 561 млн рублей, что на 60 % дешевле аналогичных зарубежных решений. На производство одной установки требуется около 18 месяцев с момента внесения 50-процентной предоплаты.
Разработка отечественных литографов на этом не завершится. Следующий этап — серийный литограф с нормами 130 нм, который также создается в ЗНТЦ совместно с «Планаром». Прототип установки был представлен в августе 2026 года, а затраты на опытно-конструкторские работы оцениваются в 5,7 млрд рублей. Запуск в серийное производство 130-нанометровых установок намечен на 2027 год.
