Изображение: иллюстративное
В Зеленоградском нанотехнологическом центре (ЗНТЦ) озвучили стоимость базовой версии первого отечественного литографа «Прогресс СТП-350», которая составляет почти 400 миллионов рублей без учета НДС, а расширенное сервисное обслуживание и продленная на 5 лет гарантия повышают эту сумму до чуть более 560 миллионов рублей.
Литограф будет изготовлен и доставлен клиенту в течение 18 месяцев после получения от него предоплаты в размере 50 %. Кроме стандартного комплекта оборудования, производитель также предлагает дополнительные опции, такие как система активной виброзащиты стоимостью 40 миллионов рублей и набор фотошаблонов за дополнительные 12 миллионов рублей.
Следует отметить, что специалисты полупроводниковой отрасли считают цену на «Прогресс СТП-350» весьма выгодной, так как она значительно ниже цен на аналогичные импортные решения с похожими характеристиками.
Установка «Прогресс СТП-350», разработанная специалистами ЗНТЦ совместно с коллегами из белорусского «Планара», предназначена для производства чипов по 350-нанометровому технологическому процессу и может обрабатывать кремниевые пластины диаметром 150 или 200 мм.
Несомненно, 350-нм техпроцесс не является передовым, но запуск в России серийного производства литографического оборудования стал значительным шагом к технологической независимости страны. В то же время ЗНТЦ уже разрабатывает литографы следующего поколения, предназначенные для производства по 130-нм технологическим стандартам, которые, по предварительным оценкам, будут стоить около 6 миллионов долларов.
