В России намечено создание собственного сканирующего электронного микроскопа, который будет необходим для контроля критически важных размеров на кремниевых пластинах. На эти цели выделено приблизительно 2,4 миллиарда рублей.
Это будет промышленно ориентированная установка CD-SEM, способная контролировать пластины диаметром 100, 150 и 200 мм, а прототип будет изготовлен для 200-мм пластин.
Установка позволит осуществлять неразрушающие измерения диаметров контактных отверстий, ширины линий, расстояний между элементами периодических структур и других значимых параметров. Работы должны быть завершены до июня 2030 года.
При этом в техническом задании указаны зарубежные аналоги, к которым по своим характеристикам должна быть близка российская установка: CD-SEM S-9380 и CG4000 компании Hitachi.
Однако уточняется, что основные компоненты микроскопа, включая электронную пушку, электронно-оптическую колонну, рабочую камеру, модуль загрузки-выгрузки полупроводниковых пластин, вакуумные насосы, контроллеры и необходимое программное обеспечение, должны производиться в России. Использование импортных компонентов возможно только в исключительных случаях и при обязательном согласовании с Минпромторгом.
