Инженеры компании с говорящим наименованием «Оптические технологии» (г. Новосибирск) разработали лазерную систему для создания фотошаблонов полупроводниковой продукции с использованием ультрафиолетового излучения. Это первое решение подобного рода в России, предназначенное для замены импортных лазеров Coherent, которые работают на длине волны 257 нм.
Замена американских лазеров Coherent на отечественные с аналогичной длиной волны обусловлена тем, что всё остальное оборудование, применяемое в производственных процессах на российских фабриках, а также фоторезисторы оптимизированы именно для 257 нм.
Разработка из Новосибирска представляет собой современный программно-аппаратный комплекс, который включает в себя собственно лазер, мощность которого достигает 15 Вт благодаря усилителю, а также специально спроектированный кристалл, осуществляющий преобразование частоты лазерного излучения.
Также отмечается, что российская альтернатива американским Coherent уже была отправлена в Белоруссию, где она проходит тщательное тестирование специалистами компании «Планар», однако причины выбора именно этого направления остаются неясными.
